1、測量范圍：0～200mm；

2、示值誤差：±(1.2+2L/100)μm，其中L為水平測量長度，單位：mm；

3、分辨率：0.01μm；

4、直線度：2μm/200mm

5、測量速度：0.1～5mm/s；

6、移動速度：0～80mm/s；

Z軸
1、測量范圍：0～450mm；

2、移動速度：0～30mm/s；

3、Z0軸

1、測量范圍：±25mm；

2、示值誤差：±(2+|2H|/40)μm，其中H為垂直測量高度，單位：mm；

3、分辨率：0.01μm；

4、測量力：10～150mN；

5、爬坡能力：上坡77o，下坡83o；

6、儀器尺寸（長×寬×高）：800×450×1000（mm）；