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MX6R晶元半導(dǎo)體檢查顯微鏡

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MX6R各項操作根據(jù)人機工程學(xué)設(shè)計,限度減輕操作者的使用疲勞

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MX6R晶元半導(dǎo)體檢查顯微鏡

MX6R各項操作根據(jù)人機工程學(xué)設(shè)計,限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計,可對系統(tǒng)功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實際應(yīng)用,進行功能選擇。

寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作。


大行程移動平臺設(shè)計
采用6寸平平臺設(shè)計,行程158×158mm,可適用于對應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。


高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計,轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。


安全、穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。

技術(shù)規(guī)格:

型號

MX6R

MX6RT

可選擇的觀察方法

明場/暗場/偏振光/DIC

明場/暗場/偏振光/DIC/透射光

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

目鏡

PL10X/22平場高眼點目鏡

物鏡

LMPL-BD無限遠(yuǎn)長工作距明暗場金相物鏡

觀察筒

正像觀察筒,25°鉸鏈?zhǔn)饺?,分光比,雙目:三目=100:0或0:100

轉(zhuǎn)換器

5孔內(nèi)傾式明暗場轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽

5孔內(nèi)傾式明暗場轉(zhuǎn)換器

載物臺

6”三層機械移動平臺,行程158x 158mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動

6”三層機械移動平臺,反射行程158x 158mm,透射行程:100x100mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動

顯微鏡鏡體

粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出

粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出

反射照明器系統(tǒng)

帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿,12V100W鹵素?zé)?,光強連續(xù)可調(diào)

透射照明系統(tǒng)

/

單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌



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