Profilm3D光學(xué)輪廓儀進行表面粗糙度和表面形貌測量時，比探針式輪廓儀有更低的成本，但同樣使用了當(dāng)今分辨率光學(xué)輪廓儀采用的白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)測量技術(shù)，垂直分辨率可達次納米級。Profilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量，在數(shù)秒內(nèi)，您可以獲得平面和曲面表面形貌測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件來組合多個影像以提供大面積的測量。

      ProfilmOnline 可存儲、共享、查看與分析來自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦，平板電腦或智能手機上都能查看和操作。享受全面的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高分析。每臺Profilm3D都標(biāo)配自動化X/Y平臺（包含tip/tilt 功能）。每臺Profilm3D配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達0.5％準(zhǔn)確度。另我們還提供100nm，2微米以及4微米等多階高的標(biāo)準(zhǔn)片。Profilm3D 采用10倍物鏡可以提供更寬廣的2毫米視野，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。手動物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡，可滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用。