行程(mm)

200×200×200

300×200×200

400×300×200

500×400×200

測量精度

XY軸

E2=(2.0+L/300)µm

E2=(2.5+L/300)µm

Z軸

E1=(5.0+L/200)µm

◆ 配置，超精密全自動測量，四軸CNC控制；

◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統(tǒng)；

◆ 全鼠標、手柄操作，簡單易用；

◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；

◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好；

◆ Navitar自動變倍光學鏡頭，可實現(xiàn)自動變倍測量；

◆ 全自動影像測量軟件（版）；

● 光學系統(tǒng)：Navitar 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326

● 運動控制：自主的CNC直流伺服系統(tǒng)

● 光柵尺：Renishaw光柵尺，0.4µm分辨率

● CCD：SONY 1/2"CCD 黑白/彩色

● 輪廓光：LED冷光源，256級亮度可調(diào)

表面光：6環(huán)8區(qū)LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調(diào)

同軸光：LED冷光源，256級亮度可調(diào)