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ZYG-1000型硅片顯微鏡

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一、用途:ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗(yàn)用光學(xué)儀器,配置明/暗場物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置,透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng),景深大,視場清晰

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一、用途:

ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗(yàn)用光學(xué)儀器,配置明/暗場物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置,透反射照明采用“柯勒”照明系統(tǒng),景深大,視場清晰。可用于半導(dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣檢驗(yàn),是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)研究的理想儀器。

二、系統(tǒng)簡介

本系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像,并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。

ZYG-1000 系列硅片顯微鏡,采用無限遠(yuǎn)聚光系統(tǒng)。

三、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類 型

放大倍數(shù)

視場(mm)

備 注

大視野目鏡

10X

Φ22

20X

Φ18(選配)

平場分劃目鏡

10X

Φ22(選配)

格值:0.1mm

2.物鏡

類 型

放大倍數(shù)

數(shù)值孔徑NA

工作距離

無限遠(yuǎn)平場

消色差(明/暗 場)物鏡

5X

0.12

8.05

10X

0.25

7.86

20X

0.40

7.23

40X(選配)

0.60

3.0

50X

0.70

1.75

80X

0.80

0.80

100X(干)(選配)

0.85

0.40

3.光學(xué)放大倍數(shù):50X—1600X
4.濾色片組:黃色、藍(lán)色、綠色;
5.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片;
6.載物臺(tái):外形尺寸:280×270mm,移動(dòng)范圍:橫向(X)204mm,縱向(Y)204mm;
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)手輪格值:0.007mm;
8.反射照明器:12V/50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào)。內(nèi)置視場光闌、孔徑光闌、濾色片轉(zhuǎn)換裝
置,推拉式檢偏器與起偏器;

四、系統(tǒng)組成

電腦型(ZYG-1000E): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數(shù)字彩色攝像機(jī) 4.數(shù)據(jù)線 5.計(jì)算機(jī)(選購)

數(shù)碼相機(jī)型(ZYG-1000D): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數(shù)碼相機(jī)(選配)

五、選購件: 1.高像素成像系統(tǒng) 2.金相顯微鏡分析軟件


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