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半導(dǎo)體檢查顯微鏡HR-6RTX

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詳細(xì)介紹產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體檢查顯微鏡HR-6RTX放大倍數(shù):50X~500X行業(yè)應(yīng)用:半導(dǎo)體晶圓

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放大倍數(shù):50X~500X

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光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察簡

30”傾斜,正像,無限遠(yuǎn)較鏈三通觀察簡,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比 100:0 或0:100 (支持25/26.5mm 視場)

30°傾斜,倒像,無限遠(yuǎn)較鏈三通觀察簡,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,三檔分光比 0:100;20:80;100:0(支持25/26.5mm 視場)

5-35“傾角可調(diào),正像,無限遠(yuǎn)較鏈三通觀察簡,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,單邊視度調(diào)節(jié):土5 屈光度,兩檔分光比100:0或0:100(支持22/23/16mm 視場)

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/22mm,可帶測微尺,可選視度可調(diào)

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/23mm,視度可調(diào)

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶刻度十字分劃板

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/26.5mm,視度可調(diào),可帶刻度十字分劃板

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL15X/16mm

物鏡

長工作距平場明暗場消色差金相物鏡 (5X、10X、20X、50X、100X)

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡 (5X、10X、20X、50X、100X)

超長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡(20X)

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位五孔明暗場轉(zhuǎn)換器,帶DIP插槽

粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu)

反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置,內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng),帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭

載物臺

6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺,低手位、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺面積445mmX240mm,反射照明移動(dòng)范圍:158mmX158mm;透射照明移動(dòng)范圍:100X100mm;帶離合器手柄可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺板(透、反射用)

照明系統(tǒng)

12V100W 鹵素?zé)?,明暗場反射照明器,帶可變孔徑光閘,視場光闡,中心均可調(diào);帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像

0.35X/0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦

其他附件

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360”旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC微分干沙組件



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