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MX63/MX63L半導(dǎo)體FPD/工業(yè)檢測顯微鏡

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MX63MX63L

MX63/MX63L半導(dǎo)體FPD/工業(yè)檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了的圖像分辨率和鮮明度。

 

· 考慮了檢查效率的設(shè)計

 

· 鮮明圖像和的分辨率為特點的光學(xué)系

 

· 軟件方案

 

· 支持缺陷檢測的多種功能

 

· 幫助實現(xiàn)多種觀察的附件

MX63

MX63L

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)

顯微鏡鏡架

反射光照明

白光LED (帶有光強度控制器) 12100瓦鹵素?zé)?/span>, 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。
通過手動操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 
內(nèi)置電動孔徑光闌(針對所有物鏡預(yù)設(shè),暗場自動打開) 
觀察模式:明場、暗場、微分干涉相襯(DIC*1、簡易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 MIX觀察(4個定向暗場)*2
*1
選配分光鏡組件,*2 需使用MIX觀察配置

透射光照明

透射光照明裝置:需使用MX-TILLAMX-TILLB 
-  MX-TILLA
:聚光鏡(NA 0.5)和孔徑光闌 
-  MX-TILLB
:聚光鏡(NA 0.6),孔徑光闌以及視場光闌 
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)?/span>) 光導(dǎo): LG-SF     
觀察模式: 明場、簡易偏光

聚焦

行程:32毫米 
每轉(zhuǎn)行程微調(diào):100微米 
最小分度: 1微米 
用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)

載荷重量(包括載物臺和支架

8公斤

15公斤

觀察筒

寬視場(FN 22毫米)

正像三目鏡筒:U-ETR4 
正像、可調(diào)傾角三目鏡筒: U-TTR-2 
倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察
倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 
倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒:U-TBI30

超寬視場(FN 26.5毫米

正像可調(diào)傾角三目鏡筒:MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 0 : 99%) 
正像可調(diào)傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 20% : 80%) 
倒像三目鏡筒: U-SWTR-3

電動物鏡轉(zhuǎn)換器

明場
DIC插槽的電動六孔:U-D6REMC
DIC插槽的電動定心五孔:U-P5REMC

明場和暗場
DIC插槽的電動六孔:U-D6BDREMC
DIC插槽的電動五孔:U-D5BDREMC
DIC插槽的電動定心五孔:U-P5BDREMC

載物臺 (X × Y)

帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程: 210 x 210毫米
透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米

帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC6R2
行程: 158 x 158毫米
(
僅適用于反射光)

帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄:MX-SIC1412R2 
行程: 356 x 305毫米 
透射光照射區(qū)域:356 x 284毫米

重量

35.6公斤 (顯微鏡架26公斤)

44公斤 (顯微鏡架28.5公斤)



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