全新的MX12R半導體 \FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
全新的MX12R半導體 /FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
技術參數
型號 | MX12R |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
可選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調，可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器，帶 DIC 插槽 |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm，移動范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 |
顯微鏡鏡體 | 反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) 透反機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm，微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調 ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影目鏡 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒三選一，C 型接口，可調焦 |
可選附件 | 無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X 無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 、100X 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板 反射用干涉濾色片組 高精度測微尺 DIC 組件 |
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