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LW400T大平臺有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡

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LW400T大平臺有限遠(yuǎn)芯片檢查金相顯微鏡

LW400T廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)的觀測。本儀器配有大移動范圍的載物臺，落射照明器、平場金相物鏡，大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，是專門為檢測晶圓而設(shè)計制造的。

標(biāo)準(zhǔn)配置

目鏡

大視野 WF10X(Φ18mm)

物鏡

長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL 5X/0.12

長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L10X/0.25

長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L20X/0.40

長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L40X/0.60

長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L80X/0.80

目鏡筒

三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進行切換)

落射照明系統(tǒng)

6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào)

落射照明器帶視場光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃

調(diào)焦機構(gòu)

載物臺升降,粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值0.7μm, 粗動松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置

轉(zhuǎn)換器

五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位)

載物臺

三層機械移動式尺寸: 280mmX270mm,移動范圍: 204mmX204mm



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