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氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

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氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,以下簡(jiǎn)稱MFC)可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制;氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter,以下簡(jiǎn)稱MFM)可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。本產(chǎn)品應(yīng)用的行業(yè)主要有:化學(xué)工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導(dǎo)體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設(shè)備主要有:真空鍍膜設(shè)備、混氣配氣設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、晶體制備設(shè)備、微電子設(shè)備、微反應(yīng)裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。


特點(diǎn):

★ 穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高

安裝方便,無(wú)安裝位置和直管段要求,操作簡(jiǎn)單

可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用,也可通過(guò)模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器(AD/DA轉(zhuǎn)換器)配合計(jì)算機(jī)使用


技術(shù)參數(shù):

基本型號(hào)

C51 

     氣體質(zhì)量流量控制器

C51M

      氣體質(zhì)量流量計(jì)

流量規(guī)格1(N2標(biāo)定)

05,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

01,2,3,5,10,20,30 SLM

調(diào)節(jié)閥類型

常閉式

無(wú)

量程比

(2100)F.S. 50:1

流量分辨率

0.1F.S.

準(zhǔn)確度

±1F.S. (15SLM)

±2F.S. (15SLM)

線性

±0.5F.S. (15SLM)

±2F.S. (15SLM)

重復(fù)精度

±0.2F.S.

響應(yīng)時(shí)間

1sec

1sec

工作壓差范圍

0.1~0.5MPa (10SLM)

0.02MPa3MPa

0.1~0.3MPa (10SLM)

耐壓

3MPa

工作環(huán)境溫度

545

電纜接頭

DB15pin(針形)

輸入輸出信號(hào)

4~20mA0+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA)

4~20mA0+5.00V (無(wú)輸入信號(hào),輸出電流不大于3mA)

供電電源要求

+24VDC(≥300mA)

+24VDC(≥150mA)

對(duì)外單點(diǎn)泄漏率

1×10-9Pa·m3/S(He)

介質(zhì)接觸材質(zhì)

316316L,密封填料

密封材料

丁腈橡膠NBR,三元乙丙橡膠EPDM,氯丁橡膠CR,硅橡膠VMQ,
氟橡膠FKM,全氟橡膠FFKM,聚四氟乙烯PTFE

管道接頭尺寸

VCR型接頭:1/4 

雙卡套型接頭:1/8、1/4、3/8或φ3、φ6、φ8、φ10 mm

外形尺寸

長(zhǎng)×寬×高:127×30×122 mm

凈重量

0.9kg

0.75kg









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