用途和特點(diǎn)：
　　可廣泛適用于計(jì)量實(shí)驗(yàn)室對(duì)高精度平面的平面度檢測和鑒定。能根據(jù)不同的要求打印出各種平面度測試的彩色等高圖以及三維立體透視圖。并給出波峰波谷值（PV），面形誤差（Em），均方根值（Rms），光圈數(shù)等面形評(píng)價(jià)參數(shù)。人體溫度對(duì)測量可靠性的影響為最小。

儀器的配套性：
　　改型的XQ15-GⅠ激光平面干涉儀、1/3英寸CCD、14″監(jiān)視器、掃描驅(qū)動(dòng)器、驅(qū)動(dòng)器電源、電腦、EPSON720彩色打印機(jī)。
　　電腦配置要求：CPU PⅢ以上，128兆內(nèi)存，16兆顯存顯卡，視頻捕捉卡。

技術(shù)參數(shù)：

1. 標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準(zhǔn)直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

4. 光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)

5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm