應(yīng)用場合

管道的氣體--沼氣，煤氣，天然氣，液化氣，鍋爐預(yù)熱空氣。
石油與天然氣工業(yè)--燃氣計量，氣體質(zhì)量分析，泄漏氣測試，天然氣測量。
電力行業(yè)--燃料系統(tǒng)中氣體分配過程中的氣體測量，鍋爐乃輔助系統(tǒng)中各種氣體的測量，燃氣爐中氣體測量，氫氣測量控制，電廠高爐的一次風(fēng)，二次風(fēng)的測量。
化學(xué)工業(yè)--煙氣循環(huán)測量，采樣系統(tǒng)中氣體流量計量控制。引風(fēng)機的氣體流量計量控制，化肥廠氨氣測量控制，電池工廠各種氣體流量測量控制。
冷扎行業(yè)--鋼鐵廠加氣測量，煉鋼廠，高爐煤氣測量，焦化廠焦?fàn)t煤氣的測量控制，軋鋼廠加熱爐燃氣的測量控制，熱處理爐的氫，氧，氮等氣體的控制。
食品及醫(yī)療行業(yè)--熱氧化過程中氣體流量測量控制，通風(fēng)系統(tǒng)鍋爐進氣，廢棄，二氧化碳的處理等。
系統(tǒng)集成商 特殊氣體廠商，真空元件供應(yīng)商，真空系統(tǒng)集成商，電池系統(tǒng)集成商，生化系統(tǒng)集成商，氣體裝配流水線集成商，大學(xué)實驗室，科研機構(gòu)實驗室，氣體公司，研發(fā)機構(gòu)。
典型應(yīng)用--電子工業(yè)設(shè)備，如氧化，CVD,擴散，外延，等離子蝕刻，離子注入和濺射，以及微反應(yīng)裝置，配氣和混氣系統(tǒng)，鍍膜設(shè)備，光釬熔煉，氣相色譜以及其他分析儀器。

注意事項
對于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在氣體質(zhì)量流量計控制器的出流端加裝單向閥，以防止異常情況下 反應(yīng)物倒流損壞質(zhì)量流量計控制器。
對于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在氣體質(zhì)量流量計控制器的下游加裝背壓閥，保證氣體質(zhì)量流量計的工作壓力。注意加裝過濾器以凈化氣源，延長質(zhì)量流量計控制器的使用壽命。
對于硅烷這樣的遇氣體易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性，必要時設(shè)計清洗旁路，隨時進行氮氣吹洗或過壓保持。
有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題。
對于高真空系統(tǒng)注意各路接頭盡量減少，并采用VCR等接頭
質(zhì)量流量計控制器的安裝位置應(yīng)易于裝卸，檢測，調(diào)零并安全可靠。
對精度特殊要求的系統(tǒng)應(yīng)注意冗余設(shè)計
注意正確使用操作.對于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)建立自己的操作規(guī)程。
注意輕拿輕放妥善保管，質(zhì)量流量控制器非常精密，應(yīng)避免受到撞擊和震動，產(chǎn)品不用時注意放在較好環(huán)境中妥善保管。
注意定期標定，如果自帶標定裝置可以省去。
注意使用氣體與流量計的密封材料相適應(yīng)。
質(zhì)量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠，能適應(yīng)大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強腐蝕氣體，但對于氨氣必須使用耐氨橡膠，對于有機溶劑類氣體，如丙酮，甲苯等必須使用硅橡膠，對于使用三氯化硼，三溴化硼等強腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封,流量計用戶在訂貨時必須注意

產(chǎn)品特點 & 技術(shù)指標





產(chǎn)品創(chuàng)新點

進口傳感器芯片技術(shù)
ZF—MFC-質(zhì)量流量計控制器采用了進口傳感器.使精度，溫漂，環(huán)境的劇烈變化影響得到極大的提高

無毛細管技術(shù)
通氣口徑達到6mm,對粘度較大，含雜質(zhì)氣體能保證精度。如硫化氫氣體等。

超微流量控制
最小流量分辨率0.01ml/min 并能精確控制

觸摸屏功能
ZF—MFC-2產(chǎn)品采用，所有量程，氣體切換一鍵搞定，操作方法一目了然，并有中英文可隨意選擇，強大的操作功能,可以兼容所有廠家的客戶端接口

高精度 快響應(yīng)
ZF—MFC-3質(zhì)量流量計控制器,產(chǎn)品準確度采用設(shè)定點精度，顯示精度，標定精度三點精度可達0.5%FS，響應(yīng)時間≤200ms