功率

0~2000W

頻率

2.45GHz

真空系統(tǒng)

真空泵

Kashiyama NeoDry60E

真空管路

304不銹鋼，高強度真空管路

材質(zhì)

鋁合金

腔體絕緣材質(zhì)

陶瓷

密封性

耐腐蝕硅膠密封圈

腔體內(nèi)部尺寸

24升

清洗產(chǎn)品范圍

180~250mm×30~80mm（長×寬）平面變形量＜2

料盒尺寸范圍

200~270mm×37~97mm×150mm（長×寬×高）

軌道寬度調(diào)整方式

手動滾輪調(diào)節(jié)

流道數(shù)量

4條，流片方向左進右出方式

電極板工作面積

340×500mm

氣體系統(tǒng)

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標(biāo)配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制）

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)控制

工控機

防呆

夾料監(jiān)控

可監(jiān)控30~80mm引線框架

料盒防呆

可監(jiān)控料盒是否已經(jīng)放置到位

UPH

UPH

120PC Lead frame

Plasma效果

清洗要求

有效去除物料正反面表面的氧化層

溫度要求

連續(xù)工作溫度不超過200℃

其他參數(shù)

外形尺寸

寬1300×長2000×高2064mm（含指示燈高）

重量

1000KG

功率

15KW

設(shè)備外觀顏色

銀灰色