LYRA 3 GMU/GMH是TESCAN推出的一款聚焦離子束掃描電鏡,以高品質(zhì),*計算機控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn) 定,分析高效為特點的*設(shè)計。該型號樣品臺行程大，可承受zui大樣品重量甚至可達10Kg，是現(xiàn)有樣品臺可載重zui大的掃描電子顯微鏡。

LYRA 3 GMU/GMH是TESCAN推出的一款聚焦離子束掃描電鏡,以高品質(zhì),*計算機控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn) 定,分析高效為特點的*設(shè)計。該型號樣品臺行程大，可承受zui大樣品重量甚至可達10Kg，是現(xiàn)有樣品臺可載重zui大的掃描電子顯微鏡。使用于航空航天，汽 車配件，發(fā)動機等事業(yè)單位和研究單位，其超大的樣品室和載重可為您帶來*的便捷，使得對一些不方便進行切割等處理的樣品的觀察成為可能。

該系列中的Cobra型號離子槍更提供了*的分辨率。
 

技術(shù)參數(shù)：

場發(fā)射(FE-SEM)部分： 
1.分辨率: 
高真空(SE):1.0nm at 30kV,2.2nm at 3kV ,4nm at 1kV 
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV 
2.放大倍數(shù):1 ~ 1000000x 
3.真空系統(tǒng):槍體真空<1*10-6Pa 
   低真空：7 ~ 500Pa,高、低真空可隨時方便切換. 
4.加速電壓0.2kV to 30Kv 
5.電子束電流 ：2pA ~ 200nA 

離子束(FIB)部分： 
6.分辨率：

      Canion機型：<5nm (30kV)

      Cobra機型：<2.5nm (30kV)
7.放大倍數(shù):150 ~ 1000000x 
8.真空系統(tǒng):槍體真空<5*10-6Pa 
9.加速電壓：0.5kV to 30kV 
10.電子束電流 ：1pA—40nA （Canion)

                1pA—50nA （Cobra)

11.樣品室內(nèi)部直徑：340mm(寬)*315(深) 
樣品室門：340mm(寬) x 320mm(高) 
12.樣品臺行程: 
X=130mm--馬達驅(qū)動(50 mm to +80 mm) 
Y=130mm--馬達驅(qū)動(65 mm to +65 mm) 
Z=100mm--馬達驅(qū)動 
旋轉(zhuǎn)﹕360度連續(xù)--馬達驅(qū)動 
傾斜﹕-60度~90度--馬達驅(qū)動 
zui大樣品高度：139mm 
13.樣品臺zui大承重可達10KG

主要特點：

國內(nèi)使用中文操作界面的電鏡廠商 
1.系統(tǒng)實現(xiàn)了電子束和離子束的共聚焦，有氣體注入系統(tǒng); 
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,channeling模式，可以非常方便的尋找樣品位置; 
3.*的低真空二次電子探測器(LVSTD). 
4.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測量同時觀測樣品; 
5.真空系統(tǒng)采用一臺機械泵和一臺分子泵，F(xiàn)IB電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達到待測狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻. 
6.采用主動式電磁減震系統(tǒng)，對環(huán)境的要求更寬泛 
7.*的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能. 
8.完善的自動功能，能幫助您更快更好的獲取圖片 
9.20個以上外擴展接口,可安裝更多的附件
10.可進行遠程控制