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MTI proforma300i硅片測(cè)量?jī)x

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                                             MTI硅片測(cè)量?jī)x

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Proforma 300i

Proforma 300Gi

Proforma 300

OEMi 1

精度2:

±0.25 µm

可重復(fù)性3:

±0.25 µm

分辨率:

0.05 µm

電壓輸入 (電壓):

100 to 240VAC

電壓輸入 (頻率):

50 to 60Hz

電力輸入 (功率):

50 W

使用溫度范圍:

15 to 40oC

響應(yīng)時(shí)間:

60ms

客戶

尺寸(長(zhǎng)xx):

482x330x279 mm

483x388x89 mm

數(shù)據(jù)接口

RS232, 網(wǎng)口, USB, LCD

RS232, 網(wǎng)口

可支持的材料4:

Si




Ge




InP




GaAs




重量:

12.3 kg

12.4 kg

5.9 kg



  ProformaTM  300i  手動(dòng)晶圓測(cè)量工具

Proforma 300i使用MTI專有的快速、準(zhǔn)確、可靠的非接觸式PUSH-PULL電容探頭。Proforma 300i可測(cè)量直徑是300mm硅片的厚度總厚度變化以及彎曲度



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