產(chǎn)品概要
支持SiC、GaN、GaAs晶圓測(cè)試,大功率晶圓測(cè)試; 更換Chuck設(shè)計(jì),可針對(duì)不同晶圓測(cè)試; 可與儀器儀表系統(tǒng)進(jìn)行集成; 可升級(jí)高低溫環(huán)境測(cè)試。
基本信息
產(chǎn)品型號(hào) | A12 | 工作環(huán)境 | 開(kāi)放式 |
電力需求 | 220VAC±10V/50Hz/2.2KW | 操控方式 | 全自動(dòng) |
產(chǎn)品尺寸 | 1660 x 1770 x 1015 mm 1660 x 1700 x 1455 mm | 設(shè)備重量 | 1700kg |
應(yīng)用方向
晶圓測(cè)試、各類(lèi)器件、Wafer等進(jìn)行I-V、C-V、光信號(hào)、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測(cè)試等。
技術(shù)特點(diǎn)
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高測(cè)試精度與測(cè)試速度,大大提升產(chǎn)能效益
- 全自動(dòng)化系統(tǒng)運(yùn)行,快速安全可靠測(cè)試
- 支持單點(diǎn)測(cè)試和連續(xù)測(cè)試
- 綜合控制系統(tǒng),快速接入儀器測(cè)試
- CHUCK高效測(cè)試系統(tǒng),運(yùn)行速度超300mm/s
- 豐富的軟件自動(dòng)化測(cè)試 ,機(jī)械精度精確校準(zhǔn)
- 可升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡
- 內(nèi)部防震系統(tǒng)裝置,運(yùn)行更穩(wěn)定