P-7 Stylus Profiler

產(chǎn)品描述

P-7支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。

P-7建立在市場(chǎng)的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無(wú)需圖像拼接。

主要功能

•      臺(tái)階高度：幾納米至1000μm

•       微力恒力控制：0.03至50mg

•       樣品全直徑掃描，無(wú)需圖像拼接

•       視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)

•       圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

•       軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面

•       生產(chǎn)能力：通過(guò)測(cè)序，模式識(shí)別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

主要應(yīng)用

•      臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度

•       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

•       形狀：2D和3D翹曲和形狀

•       應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

•       缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

•      大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

•       半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

•       LED：發(fā)光二極管

•       太陽(yáng)能

•       MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

•       數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

•       汽車(chē)

•       醫(yī)療設(shè)備

主要技術(shù)參數(shù)

•      重復(fù)性:≤4A (0.10%)

•       垂直分辨率: 0.01A

•       水平分辨率(X): 0.025 um

•       水平分辨率(Y): 0.5 um

•       采樣率: 5~2000 Hz

•       垂直線性度:

           士0.5%>2000A.

           10As 2000 A

•       針壓范圍: 0. 03~50 mg

•       測(cè)量長(zhǎng)度: 150 mm

           (無(wú)需拼接)

•       掃描速度:2 um/s - 25 mm/s