Zeta-20 Optical Profiler
產(chǎn)品描述
Zeta-20是一款緊湊牢固的全集成光學(xué)輪廓顯微鏡，可以提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)，可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點圖像。 Zeta-20具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
Zeta-20臺式光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)（美國：編號US7729049B2；US7944609B2；US8174762B2；US8184364B2；USB2）和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進(jìn)行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。
Zeta-20的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot™測量模式可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。 ZDot或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進(jìn)行測量。 Zeta-20也是一種顯微鏡，可用于樣品復(fù)檢或自動缺陷檢測。 Zeta-20通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
主要功能
采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀，具有廣泛的應(yīng)用
可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡
ZDot：同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點圖像
ZXI：白光干涉測量技術(shù)，適用于z向分辨率高的廣域測量
ZIC：干涉對比度，適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)
ZSI：剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像
ZFT：使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率
AOI：自動光學(xué)檢測，并對樣品上的缺陷進(jìn)行量化
生產(chǎn)能力：通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量
主要應(yīng)用
工業(yè)應(yīng)用
太陽能：光伏太陽能電池
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
半導(dǎo)體 WLCSP（晶圓級芯片級封裝）
半導(dǎo)體FOWLP（扇出晶圓級封裝）
PCB和柔性PCB
MEMS（微機電系統(tǒng)）
醫(yī)療設(shè)備和微流體設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲
大學(xué)，研究實驗室和研究所
