本公司百級(jí)無(wú)塵烤箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

·  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到 Class 100；

·  全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

·  采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng) H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率 99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)；

·  強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能 P.I.D 溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度