現(xiàn)今智能手機(jī)產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動(dòng)了包括半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個(gè)電子制造業(yè)的飛速進(jìn)步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大樣品的檢測(cè)、的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn)將會(huì)有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。
新推出的MX63/MX63L顯微鏡具備有如下的特點(diǎn)：從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與采集
新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進(jìn)一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。
長(zhǎng)壽命高強(qiáng)度白色LED照明：始終一致的色溫
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強(qiáng)度白光LED光源，兼顧低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。
功能性：適合所有晶園尺寸
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測(cè)。MX63可用于晶圓直徑200mm，MX63L可用于晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機(jī)，實(shí)現(xiàn)可靠、安全、高效的對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行檢測(cè)。
模塊化：全面可定制
新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)讓檢測(cè)者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動(dòng)組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過(guò)防靜電處理。
觀察與分析工具
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。
從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀察與圖像采集
通過(guò)將暗場(chǎng)與諸如明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時(shí)間僅使用四分之一象限的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，對(duì)于樣品表面紋理的可視化非常有用。
半導(dǎo)體晶圓上的結(jié)構(gòu)
| 
| 
| 
| 
|
集成電路圖形不夠清晰。 |
| 晶圓顏色不可見(jiàn)。 |
| 晶圓顏色和集成電路圖形均清晰可辨。 |
半導(dǎo)體晶圓上的光刻膠殘留物
|
| 
|
| 
|
樣品本身不可見(jiàn)。 |
| 殘留物不清晰。 |
| 集成電路圖形和殘留物均清晰可辨。 |
聚光鏡
| 
| 
|
| 
|
表面受到反射。 |
| 來(lái)自不同角度定向暗場(chǎng)的多幅圖像。 |
| 將沒(méi)有光暈的清晰圖像拼接在一起，創(chuàng)建樣品的單幅清晰圖像。 |
輕松生成全景圖像: 即時(shí)圖像拼接
利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無(wú)需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。
硬幣的即時(shí)MIA圖像
生成全聚焦圖像: EFI
奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能可采集高度超出物鏡焦點(diǎn)深度的樣品圖像，并可將其合成一幅全聚焦圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸調(diào)焦使用，可輕松實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。其也可在Stream桌面版（Desktop）離線情況下生成EFI圖像。
集成電路芯片上的凸塊
利用HDR同時(shí)捕捉明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用圖像處理技術(shù)的高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。
|
| 
|
| 
|
| 
|
某些部位存在眩光。 |
| 暗光區(qū)域和明亮區(qū)域利用HDR獲得清晰呈現(xiàn)。 |
| TFT陣列因?yàn)V色片的亮度而漆黑一片。 |
| TFT陣列利用HDR獲得呈現(xiàn)。 |
從基本測(cè)量到高級(jí)分析
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便是入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也融入了交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便存檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流的直觀界面。點(diǎn)擊按鈕一下，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。在大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間情況下，操作人員可以將精力集中在手邊的檢測(cè)工作上。
基本測(cè)量（印刷電路板上的圖形） | 
分散能力解決方案（PCB通孔的橫截面） | 
自動(dòng)測(cè)量解決方案（晶圓結(jié)構(gòu)） |
高效的報(bào)告創(chuàng)建
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長(zhǎng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)字變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過(guò)電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。
