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霍爾效應測試系統(tǒng)

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上海天端實業(yè)有限公司自主研制高低溫霍爾效應測試系統(tǒng)系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應樣品支架、標準樣品、高低溫杜瓦,控溫儀,系統(tǒng)軟件組成??捎糜跍y量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),實驗結果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concen

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上海天端實業(yè)有限公司自主研制高低溫霍爾效應測試系統(tǒng)系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應樣品支架、標準樣品、高低溫杜瓦,控溫儀,系統(tǒng)軟件組成。

可用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),實驗結果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

 

高低溫霍爾效應測試系統(tǒng)(圖1) 

霍爾效應磁場發(fā)生系統(tǒng)

    · 磁場強度:1T@30mm

· 極柱直徑φ:100mm

· 極頭直徑φ:60mm

· 可調(diào)范圍:0 ~ 100mm

· 線圈內(nèi)阻:10.0Ω

· 磁場穩(wěn)定性:±0.3Gs(24h時間內(nèi))

· 自重:180Kg


霍爾效應磁場測試部分

· 量程:±0.1Gs ~ ±30kGs

· 分辨率:0.1Gs

· 精度:讀數(shù)的±0.3%±0.05%量程

· 測磁傳感器厚度為1.0mm,長度為100mm

· 人機交互:明亮的寬屏高清液晶屏, 4?位顯示,標準9針“D”型RS232連接器

· 自動化:完備的計算機指令,可通過數(shù)據(jù)通訊,實時在電腦界面監(jiān)測并控制測試樣品周圍的磁場環(huán)境溫度范圍:滿足-45度~125度,控溫精度±0.1度


霍爾效應測試系統(tǒng)磁場控制直流電源

· 功率:1KW

· 精準度:0.2%

· 輸出電流/電壓:±10A/100V

· 分辨率:0.1mA

· 額定負載:≥2Ω

· 室內(nèi)使用設計.溫度: 0~40

· 濕度:10%~85% RH


霍爾效應測試系統(tǒng)樣品恒流源

· 電流輸出基本分辨力0.0001uA,電壓測量基本分辨力0.0001mV

· 輸出量程:50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進連續(xù)可調(diào)

· 測量電壓:0~±3V大量程測試電壓滿足高阻芯片的測試

· 內(nèi)置自動變換的四相陣卡,可實現(xiàn)霍爾效應范德堡法的自動測量

· 良好的人機交互界面,方便使用者進行手動調(diào)節(jié)

· 完備的上位機指令,可與電腦進行通訊完成各項操作


高低溫恒溫器

    · 液氮恒溫器溫度測試范圍:80K ~ 500K(測量速率達20次/秒)

· 測溫精度:全量程范圍內(nèi)為0.1K(PT100 鉑電阻)

· 測溫方法:四引線電阻法

· 真空度:關閉閥門后可保持腔體內(nèi)部小于0.1Pa

· 接插件:標準用DP14針插頭,其中四芯用于溫度傳感器,兩芯用于加熱器,剩余八芯測量線供使用者從恒溫器連接到測量儀表,可自行定義。


霍爾效應測試系統(tǒng)控溫儀

      · 測控溫溫區(qū):1.4 K--- 450 K(具體范圍需依據(jù)使用溫度計的型號而定)

· 控溫誤差:小于0.05%F.S ±1個字(可對溫漂、時漂進行自動補償)

· 分辨率:1/60000

· 加熱功率輸出:過零開斷的位式調(diào)節(jié),0-- 24V, 2A濾波直流輸出

· 可提供兩路PID型溫度控制,輸出功率為100W


霍爾效應測試系統(tǒng)上位機軟件

      · 可實現(xiàn)一鍵自動化測量,檢測開始后無需人員進行操作即可進行測量。

· 在軟件中進行設置可進行自動變溫測量。

· 軟件中可進行I-V曲線、B-V曲線以及測量的各個半導體參數(shù)對于溫度t的曲線圖

· 軟件內(nèi)進行的模塊化設計,方便客戶使用以及進行相關功能的開發(fā)5、實驗結果測量完成,數(shù)據(jù)將暫時保存在軟件中,如需要長期保存可將數(shù)據(jù)導出至EXCEL表格中,方便后期的數(shù)據(jù)處理

霍爾效應測試系統(tǒng)其他配套裝置

     · 標準600mm*600mm*1000mm(長*寬*高)箱式機柜,內(nèi)置6芯插排,數(shù)量和功率均滿足各使用儀器電源的同時使用要求

· 標準接口用FX-8型號機械真空泵,速度可達:3L/S

· 恒溫器固定裝置,帶滑軌可實現(xiàn)恒溫器帶動樣片的移動。

· 磁場傳感器探頭固定裝置:全鋁非導體支架5-70mm可調(diào)

· 溫度測量與控制連接線固定裝置

· 制作樣品上歐姆接觸焊點的相應工具:電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

 

高低溫霍爾效應測試系統(tǒng)(圖2)



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