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技術(shù)參數(shù)濾波器:高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器測(cè)量重復(fù)性:4%技術(shù)參數(shù)相對(duì)示值誤差:±7%測(cè)量長(zhǎng)度:λc╳3、4、5、6、7測(cè)量范圍:640μm分辨率：0.001μm測(cè)量速度：0.1mm/s

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  • 濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器

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    • 技術(shù)參數(shù)

    相對(duì)示值誤差: ±7%

    測(cè)量長(zhǎng)度: λc ╳3、4、5、6、7

    測(cè)量范圍: 640μm

    分辨率 ： 0.001μm

    測(cè)量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

    返回速度： 1mm/s（自動(dòng)）

    測(cè)量方式：傳感器移動(dòng)式

    測(cè)量功能

    Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv



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