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GSS300 高速型 超聲掃描顯微鏡

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產(chǎn)品概述高性能一體機(jī)1000mm/s掃描速度,8m/s掃描加速度

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產(chǎn)品概述
高性能一體機(jī) ——1000mm/s掃描速度,8m/s²掃描加速度。典型應(yīng)用場景的掃描效率達(dá)到35秒/件,為S100機(jī)型的X倍。為大批量中小尺寸工件的快速全檢,提供了高性能的解決方案。采用整體焊接框架、主動平衡減振機(jī)構(gòu),有效降低高加速度引起的機(jī)體晃動,提高成像質(zhì)量。

主要配置:
1、龍門式高速直線電機(jī)掃描運動臺;
2、主動平衡減震系統(tǒng);
3、整體焊接框架,提高穩(wěn)定性;
4、全封閉防護(hù);
5、夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助;
6、自動上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)。

 
應(yīng)用領(lǐng)域
精密器件 ——半導(dǎo)體、集成電路和金剛石等行業(yè)高速全檢,適用于理化試驗室或車間現(xiàn)場。

產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源:220V/50Hz,3KW;
2、掃描范圍: 500mm×330mm×100mm;圖像推薦分辨率:0.5um ~ 4000um;
3、整機(jī)尺寸:1250mm×850mm×1300mm;(標(biāo)配)
4、探頭頻率范圍:1~50MHz;(標(biāo)配,可升級至230MHz);
5、圖像推薦分辨率
:0.5um ~ 4000um;
6、典型掃描耗時:≤35s (測試條件:掃描區(qū)域10mmX10mm,分辨率50um);
7、掃描速度:1000mm/s;掃描加速度:8m/s²;
8、運動臺定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重復(fù)定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率:25~250MHz;(標(biāo)配,可升級至1.5GHz);
10、每通道可調(diào)增益:-13~66dB;(標(biāo)配,可升級);脈沖重復(fù)頻率:5kHz;(標(biāo)配,可升級)。

 


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