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S500510、520系列超聲掃描顯微鏡

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輕量機(jī)型桌面式、操作與維護(hù)簡便

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輕量機(jī)型 —— 桌面式、操作與維護(hù)簡便。采用的同步掃描結(jié)構(gòu),相比于S100機(jī)型,大幅降低整機(jī)尺寸和重量,仍能保持較高的掃描效率。

主要配置:

1、輕量化掃描機(jī)頭;
2、桌面式一體化整機(jī);
3、全封閉防護(hù);

4、夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助。

 應(yīng)用領(lǐng)域
高效率—— 根據(jù)20/80原則,車間現(xiàn)場80%的批量工件僅需做常規(guī)快速抽檢,不需要做詳細(xì)分析,因此可以使用S400機(jī)型達(dá)到快速檢測。用于半導(dǎo)體、集成電路、低壓電器等行業(yè)的生產(chǎn)線的制程管控。適用于車間現(xiàn)場或小型理化實(shí)驗(yàn)室。

產(chǎn)品參數(shù)
1、工作電源:220V/50Hz,1KW;
2、掃描范圍:200mm×100mm×100mm;
3、整機(jī)尺寸:400mm×500mm×500mm;(標(biāo)配)
4、探頭頻率范圍:1~50MHz;(標(biāo)配,可升級至230MHz);
5、推薦圖像分辨率:0.5um ~ 4000um;

6、典型掃描耗時:<45s (測試條件:掃描區(qū)域10mmX10mm,分辨率50um);
7、掃描速度:300mm/s;掃描加速度:5m/s
²;
8、運(yùn)動臺定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重復(fù)定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采樣頻率:25~250MHz;(標(biāo)配,可升級至1.5GHz);
10、每通道可調(diào)增益:-13~66dB;(標(biāo)配,可升級);
11、脈沖重復(fù)頻率:5kHz;(標(biāo)配,可升級)。


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