產(chǎn)品概念：超聲波掃描顯微鏡USAM-30用于對材料科學(xué)半導(dǎo)體行業(yè)等相應(yīng)產(chǎn)品的內(nèi)部缺陷檢測,利用超高速線性馬達(dá)運(yùn)動系統(tǒng)，帶動高頻，對產(chǎn)品進(jìn)行水浸C掃描檢測,全波列采集超聲波信號，利用成像算法和數(shù)據(jù)圖像處理功能,對產(chǎn)品內(nèi)部的缺陷進(jìn)行有效識別,得到內(nèi)部清晰圖像,并統(tǒng)計分析缺陷位置、形狀和尺寸,生成自定義報告。

機(jī)械部分：1、xy軸采用線性伺服動力系統(tǒng)，內(nèi)置磁懸浮機(jī)構(gòu);2、采用無鐵芯結(jié)構(gòu)，保證運(yùn)行過程中的速度穩(wěn)定性;3、z軸行程大于100毫米，z軸可自動對焦;4、掃描范圍:300mmX300mm (可根據(jù)需求拓展掃描區(qū)域)5、掃描速度:1500mm/s，重復(fù)精度士0.1um;6、水槽標(biāo)準(zhǔn)尺寸:600mmX700mmX170mmH (水槽尺寸可定制);

超聲部分：1、DPR300手動/自動一體，接收器帶寬60MHz;2、**激發(fā)電壓:475V;3、高通/低通濾波各6組，16個阻尼設(shè)置，脈沖能量和阻抗可調(diào):4、脈沖重復(fù)頻率5KHz;5、80db接收增益范圍;6、A/D采樣頻率:1GHz(2G/3G選配);

軟件界面：

1、界面跟蹤消除產(chǎn)品本身曲率及檢測過程中產(chǎn)品晃動的誤差;2、多種特征成像方式(幅值成像、時間成像、相位成像、FFT成像、切片成像、多閘門聯(lián)合成像等);3、區(qū)域重掃和缺陷定位，還原被檢工件的形狀和缺陷的大小;4、檢測產(chǎn)品數(shù)據(jù)庫管理，結(jié)果清晰，一鍵生成報告;5、掃查軸和步進(jìn)軸可任意切換，掃描間隔可無極調(diào)節(jié) (0.01~1mm);6、具備圖像放大縮小功能，能清晰的展現(xiàn)出缺陷邊緣狀態(tài)，方便缺陷尺寸測量、統(tǒng)計與分析;