非接觸式膜厚測(cè)量?jī)xEA-160產(chǎn)品描述:◆高速度、高精度測(cè)量系統(tǒng)◆160mm×160mm范圍測(cè)量◆透明材質(zhì)穿透測(cè)量◆測(cè)量膜厚、線寬、平面度等◆多程序自由切換

非接觸式膜厚測(cè)量?jī)x EA-160 

產(chǎn)品描述:

◆高速度、高精度測(cè)量系統(tǒng)

◆160mm×160mm范圍測(cè)量  

◆透明材質(zhì)穿透測(cè)量  

◆測(cè)量膜厚、線寬、平面度等 

 

◆多程序自由切換，方便靈活

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技術(shù)： 

◆采用白光共焦技術(shù)，分辨率達(dá)到5nm，量程13mm 

◆0-160mm運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到微米級(jí)，X、Y方向無機(jī)械接觸，采用全閉環(huán)反饋系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量 

◆高精度、高分辨率CCD系統(tǒng)，結(jié)合effecttek軟體算法，支持影像定位輔助系統(tǒng) 

應(yīng)用： 

◆厚膜電路測(cè)量

◆晶圓涂膠測(cè)量 

◆LTCC膜厚、線寬測(cè)量 

◆MEMS測(cè)量 

◆透明材質(zhì)測(cè)量 

◆太陽(yáng)能面板測(cè)量 

設(shè)備技術(shù)參數(shù):