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薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量，對單層...
NanoCalc 薄膜反射測量系統(tǒng)
薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進行10nm~250µm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。
的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。
技術參數(shù)
| 入射角 | 90° |
| 層數(shù) | 3層以下 |
| 需要進行參考值測量 | 是 |
| 透明材料 | 是 |
| 傳輸模式 | 是 |
| 粗糙材料 | 是 |
| 測量速度 | 100ms - 1s |
| 在線監(jiān)測 | 可以 |
| 公差（高度） | 參考值測量或準直(74-UV) |
| 公差（角度） | 參考值測量 |
| 微黑子選項 | 配顯微鏡 |
| 顯示選項 | 配顯微鏡 |
| 定位選項 | 6"和12" XYZ 定位臺 |
| 真空 | 可以 |
產品特點
查找n和k值
可以進行多達三層的薄膜測量，薄膜和基體測量可以是金屬、電介質、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據庫，用戶也可以自己添加和編輯。
應用
NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質上的抗反射涂層、抗磨涂層等。
NC-UV-VIS-NIR 波長范圍：250-1100 nm；厚度：10 nm-70 µm；光源：氘鹵燈
NC-UV-VIS 波長范圍：250-850 nm；厚度：10 nm-20 µm；光源：氘鹵燈
NC-VIS-NIR 波長范圍：400-1100 nm；厚度：20 nm-100 µm(可選1µm-250µm)；光源：鹵燈
NC-VIS 波長范圍：400-850 nm；厚度：50 nm-20 µm；光源：鹵燈
NC-NIR 波長范圍：650-1100 nm；厚度：70 nm-70 µm；光源：鹵燈
NC-NIR-HR 波長范圍：650-1100 nm；厚度：70 nm-70 µm；光源：鹵燈
NC-512-NIR 波長范圍：900-1700 nm；厚度：50 nm-200μm；光源：高亮度鹵燈*您想獲取產品的資料：
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