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W16型微熱板氣體傳感模組

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W16型微熱板氣體傳感模組W16型微熱板氣體傳感模組是一套基于MEMS微熱板16元件陣列的模塊化設(shè)備

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W16型微熱板氣體傳感模組


W16型微熱板氣體傳感模組是一套基于MEMS微熱板16元件陣列的模塊化設(shè)備。其由三部分組成：16元件微熱板器件及基板、調(diào)理電路板、供電通訊模塊。16元件微熱板器件采用MEMS工藝，通過光刻濺射的方式在陶瓷基板上沉積加熱器、測溫電阻、插齒，16個通道可單獨加熱、控溫。調(diào)理電路板可以高速測量16路電阻信號，電阻測量范圍100Ω-1GΩ，誤差小于5%。供電通訊模塊可以通過USB或者WIFI等方式連接PC機，進行數(shù)據(jù)獲取、存儲與處理。

W16型微熱板傳感模組實物圖

16元件陣列器件實物圖


性能參數(shù)

模組尺寸

約52mm×42mm×12mm

器件尺寸

10mm×10mm×3mm

傳感器類型

金屬氧化物半導(dǎo)體

插齒間距

5-20um可選

傳感器數(shù)量

16個

加熱溫度范圍

室溫-400℃

加熱功耗

約60 mW/元件 (300℃)

加熱模式

恒溫或程序變溫

可選配

內(nèi)置環(huán)境溫濕度傳感器或者LED光激發(fā)

電阻測量范圍

100Ω-1GΩ（自動匹配）

供電電源

12V，4.0A

工作溫度范圍

-10℃- +40℃

工作濕度范圍

0-95%RH

模組軟件界面

高速變溫效果（0.2秒變溫）








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