測量功能Main Function：
尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
夾角：包含水平角、垂直角、夾角
位置公差：包含平行度、垂直度
形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧輪廓度
輔助生成：包含輔助點、輔助線、輔助圓
Dimension：Contains the horizontal distance, vertical distance, linear distance, radius and diameter
Angle: Horizontal Angle, vertical angle, cross angle
Position tolerance: contains the parallelism and perpendicularity
Form tolerance: contains the straightness, crown, circular arc profile
Auxiliary generation: contains the auxiliary point, auxiliary line, auxiliary circle
技術(shù)參數(shù)Main Parameters：
| 項目 Item | 參數(shù) Parameter | 分辨率 |
| 輪廓測量范圍 Measurement range 測量精度 Measurement Accuracy | X軸axis | 200mm | 0.1μm |
| 直線度Straightness | 1.5μm /200mm | -------- |
| Z1（傳感器量程）Sensor | 40mm | 0.1μm |
| Z高度Height | 650mm | 立柱 |
| 最小內(nèi)孔Min. inner hole | 30mm (換小測針可測更小內(nèi)徑) | ---------- |
| 線性精度 | ≤±（1+I0.12HI）μm | - ------ |
| 圓弧 | ≤（1.5+R/8） | 2mm＜R＜10mm 的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為 120° |
| 角度 | ≤±2′ | 60°、90°的角度塊，角 邊取樣長度為 5mm |
| 分辨率Resolution | 0.1μm | ---------- |
| 產(chǎn)地Origin | 美國MicroE （America） | ------- |
| 傳感器 Sensor | 類型 Type | 光柵傳感器 Digital grating sensor | ----------- |
| 分辨率Resolution | 0.1μm | ------- |
| 產(chǎn)地Origin | 美國MicroE （America） | --------- |
| 爬坡角度Climbing Ability | 上升77°（Upside）， 下降88°（Downside） | ------- |
| 測量速度Meas. Speed | 0.02mm至4.0mm/s | ---------- |
| 測量方式Meas. Mode | 傳感器移動Sensor moving | -------- |
| 電源Power | AC 220V±10% 50Hz | ------- |
| 環(huán)境要求Environmental conditions | 相對濕度(RH)：＜85% | 以上參數(shù)均在 20℃± 2℃，階梯溫度不超過2℃/h 和地面振動 RMS＜50Hz 2.5μm/s 且RMS＞50Hz 5.0μm/s 的環(huán)境下 測得 |
