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4探針掃描探針顯微鏡UHV NANOPEOBE

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UHV NANOPEOBE是一個精密的分析儀器,不會破壞被分析樣品,用于納米尺度的四點接觸式電測量和用于復(fù)雜集成電路的納米器件的功能測試。 Omicron NanoScience成熟的SPM技術(shù)是能夠進行納米尺度的探測技術(shù)的關(guān)鍵因素,它提供精準的探針導(dǎo)航和安全的針尖粗定位,從而保護了*直徑僅有十幾 個納米的探針。

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  強大的集成四個獨立掃描探針顯微鏡的納米探測系統(tǒng)


  納米技術(shù)領(lǐng)域的一個重大挑戰(zhàn)是如何將單個納米器件植入大型集成電路中。器件工藝研究需要納米尺度大小器件的電子特性表征,相應(yīng)的也需要能夠?qū)⒏信d趣范圍從毫米尺度縮小至納米尺度的導(dǎo)航設(shè)備。


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