X-Max Extreme是100mm2無窗版本的X-Max，可顯著地提高靈敏度和空間分辨率。 它采用了優(yōu)化的徑向幾何設計，可實現(xiàn)在超高分辨場發(fā)射掃描電鏡的低電壓及小工作距離條件下同時采集圖像和能譜。X-Max Extreme可實現(xiàn)能譜的分辨率達到相應掃描電鏡的分辨率。

　　X-Max Extreme全新硅漂移探測器是能譜探測器領域的又一突破，為超高分辨率FEG-SEM的應用及超越常規(guī)的微米和納米尺度分析提供了全新的解決方案。

　　X-Max Extreme是100mm2無窗版本的X-Max，可顯著地提高靈敏度和空間分辨率。 它采用了優(yōu)化的徑向幾何設計，可實現(xiàn)在超高分辨場發(fā)射掃描電鏡的低電壓及小工作距離條件下同時采集圖像和能譜。X-Max Extreme可實現(xiàn)能譜的分辨率達到相應掃描電鏡的分辨率。

　　SEM-EDS超高空間分辨率

　　FEG-SEM中優(yōu)于10nm的元素表征

　　材料表面表征靈敏度高

　　SEM中表征材料表面

　　超低電壓下進行材料鑒定

　　低至1千伏材料表征

　　快速準確的納米尺度表征

　　快速采集并實時數(shù)據(jù)處理大塊樣品

　　*的輕元素靈敏度

　　鋰、氮和氧等輕元素的檢測提高至新水平

　　技術背景

　　X-Max Extreme是超高分辨率FEG-SEM應用的一個突破性的解決方案。這種*的探測器*次實現(xiàn)EDS在超低電壓(例如1-3kV)及很短的工作距離條件下采集信號來進行元素分析，而用戶通常在該條件下進行納米材料或材料表面的形貌觀察。

　　的超高分辨率FEG-SEM為研究更小尺度納米結構、界面和表面提供了全新的解決方案。然而,在短工作距離、超低電壓和束流條件下，其雖然能夠在棱鏡內探測器獲得電子信號，卻沒有響應的能譜以進行元素表征。X-Max Extreme改變了這種狀況，它專為在這類參數(shù)條件下工作而設計:

　　*的幾何設計

　　為在更短的工作距離下工作而設計

　　為傳統(tǒng)側插能譜探頭設計的zui大立體角——通常比X-MaxN150 立體角大5倍而傳感器到樣品距離僅為正常距離的一半

　　無窗下工作

　　結合立體角，相比其他大面積探頭，對低能X射線探測靈敏性可提高10-30倍

　　新的探頭電子器件*地提高了極低能量X射線，同時擴展了更高計數(shù)下的低能量分析性能

　　AZtecEnergy與低電壓Tru-Q分析引擎整合為一體，實現(xiàn)低電壓下數(shù)據(jù)處理及分析

　　為低電壓下的譜峰剝離而改進的TruMap

　　為了實現(xiàn)這種*的幾何設計，X-MaxExtreme非圓形100平方毫米傳感器和無窗的設計已經成功地用于X-MaxN 100TLE，以優(yōu)化TEM中的靈敏度。除了探測器特性之外，小尺寸電子陷阱設計使得探測器可以在7kV電壓下工作。