功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質(zhì)子流量控制器

工作溫度：5~45ºC  
zui大壓力:3x106 Pa  
精度: ±1.5% FS  
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度：5~45 ºC
zui大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性: ±（0.5-1.5）%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

功率

        23W

PLC觸摸屏

• 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上 
•  RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
   

機(jī)械壓力表

• 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
• 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

        316 不銹鋼

通氣管道

• 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 
• 外部通氣管道為1/4”聚四氟管
• 

混氣罐

       Φ80X120mm

截止閥及配件

• 316不銹鋼針閥 
• Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

        600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

    CE認(rèn)證

質(zhì)保期

    一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

相關(guān)產(chǎn)品

CVD & PECVD 管式爐      （點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）