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X射線熒光光譜儀(XRF，是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發(fā)出的次級X射線。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學，法醫(yī)學，考古學和藝術品，例如油畫和壁畫。
XRF用的是物理原理來檢測物質(zhì)的元素，可進行定性和定量分析。即通過X射線穿透原子內(nèi)部電子，由外層電子補給產(chǎn)生特征X射線，根據(jù)元素特征X射線的強度，即可獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。它只能測元素而不能測化合物。但由于XRF是表面化學分析，故測得的樣品必須滿足很多條件才準，比如表面光滑，成分均勻。如果成分不均勻，只能說明在XRF測量的那個微區(qū)的成分如此，其他的不能表示。
XRF的優(yōu)點如下：
1、分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2-5分鐘就可以測完樣品中的全部元素。
2、非破壞性。在測定中不會引起化學狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
3、分析精密度高。
4、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
5、測試元素范圍大，WDX可在ppm-100%濃度下檢測B5-U92，而EDX可在1ppm-100ppm下檢測大多數(shù)元素，Na11-U92。此外還可以檢測Cu合金中的Be含量。
6、可定量分析材料元素組成，分辨率高，探針尺寸為500μm (WDX), 75μm (EDX)。
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