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可見光透過率高而又有導(dǎo)電性的薄膜稱為透明導(dǎo)電薄膜，透明導(dǎo)電薄膜的種類主要有金屬膜、氧化物膜。多層復(fù)合膜和高分子膜等，其中氧化物薄膜占主導(dǎo)地位。透明導(dǎo)電氧化物（TCO）薄膜主要包括In,Sn,Zn,Cd的氧化物及其復(fù)合多元氧化物薄膜。1907年Badeker首先制備并報(bào)道了Cdo透明導(dǎo)電薄膜，將物質(zhì)的透明性和導(dǎo)電性這一矛盾統(tǒng)一起來。在隨后的幾十年中。人們發(fā)現(xiàn)和研究了多種材料的TCO薄膜，并不斷擴(kuò)大它們的用途。目前研究人員主要集中在對SnO2基、In2O3基以及ZnO 基透明導(dǎo)電薄膜的研究，而摻錫In2O3（簡稱ITO (Indium Tin Oxides氧化銦錫)薄膜又是當(dāng)前研究和應(yīng)用廣泛的透明導(dǎo)電薄膜。

（圖：常見的ITO薄膜結(jié)構(gòu)圖）

作為納米銦錫金屬氧化物，ITO薄膜具有很好的導(dǎo)電性、透明性和光電效應(yīng)，對可見光的透過率達(dá)95%以上，對紅外光的反射率達(dá)到70%，對紫光的吸收率大于等于85%以及具有導(dǎo)電性、加工性、高硬度、耐腐蝕性，因而在汽車擋風(fēng)玻璃、飛機(jī)舷窗、坦克激光測距儀、機(jī)載光學(xué)偵察儀、隱形飛機(jī)、高級玻璃幕墻、顯示屏幕、太陽能電池板、防護(hù)眼鏡等方面有著廣泛的應(yīng)用。

透光率和電阻率是ITO薄膜兩個(gè)重要的性能指標(biāo)。

透光率是指ITO薄膜在可見光波段的總透過率，主要取決于膜層對光的反射率，薄膜的厚度會對光在其中的透過率產(chǎn)生影響，當(dāng)厚度變大時(shí)透過率會減小。

激光共聚焦顯微鏡可以減少焦點(diǎn)以外反射信號的影響，輕松檢測ITO薄膜的厚度以及樣品表面，同時(shí)也可對粗糙度、線寬、線距、斷線、劃痕、異物等尺寸及外觀缺陷進(jìn)行快速有效的檢測。

使用激光共聚焦顯微鏡（NS3500， Nanoscope Systems, 韓國）測量ITO薄膜表面輪廓。

ITO Surface

ITO Pattern

結(jié)論

3D激光共聚焦顯微鏡，可以有效對ITO薄膜表面形貌表征、薄膜缺陷分析、納米尺度壓痕3D重建、基于劃痕測試和殘余應(yīng)力分析數(shù)據(jù)的薄膜失效模式研究和薄膜與基板粘附力量話，以及磨損測試產(chǎn)生的粗糙度分析，使用Nanoscope Systems 的激光共聚焦顯微鏡正常情況下可獲得測試結(jié)果。