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在芯片制造的光刻、蝕刻等核心環(huán)節(jié)中，硅烷、砷化氫等數十種“隱形殺手”時刻潛伏。一旦泄漏，輕則百萬設備報廢，重則爆炸、中毒事故，導致人員傷亡！如何用科技筑起安全防線？
一、半導體行業(yè)氣體安全：一場無聲的生死博弈
在半導體制造中，電子氣體被譽為“芯片血液”，其種類繁多，包括電子大宗氣體和特種氣體兩大類。其中電子大宗氣體是生產制造過程中的環(huán)境氣、保護氣和載體，而電子特種氣體主要在光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等。芯片制造工藝之中發(fā)揮著至關重要的作用。并且，在生產過程中還可能伴隨酸性廢氣、堿性廢氣等多種有害氣體的產生，對環(huán)境和人員安全構成潛在威脅。
1、半導體行業(yè)中的危險氣體
易燃性氣體：這類氣體如氫氣（H?）、氨氣（NH?）、磷化氫（PH?）等，具有自燃和易燃特性，且存在一定的爆炸范圍。當環(huán)境溫度達到一定值時，某些氣體如磷化氫（PH?）甚至會發(fā)生自燃。
有毒有害氣體：許多半導體制造氣體對人體有害，如砷化氫（AsH?）、磷化氫（PH?）、硅烷（SiH?）、溴（Br?）、氟（F?）、氰化氫（HCN）、氟化氫（HF）等。這些氣體的允許濃度極低，一旦泄漏，會對人體造成極大傷害。例如，砷化氫（AsH?）用于外延硅的N型摻雜等工藝；磷化氫（PH?）是一種無色、劇毒、易燃的氣體，主要用于硅烷外延的摻雜劑。
腐蝕性氣體：如氯化氫（HCl）、氟化氫（HF）、（ClF?）等，這些氣體在干燥狀態(tài)下腐蝕性較弱，但遇水后會表現出很強的腐蝕性，且通常兼具毒性。
惰性氣體：如六氟乙烷（C?F?）、四氟化碳（CF?）等，雖然本身不會直接對人體造成傷害，但在密閉空間泄漏時會導致窒息事故。
氧化性氣體：如（ClF?）、三氟化氮（NF?）等，這類氣體具有強氧化性，同時可能兼具毒性或腐蝕性。
2、真實代價驚人
半導體制造車間多為無塵密閉環(huán)境，且配備回風系統(tǒng)，一旦發(fā)生氣體泄漏，泄漏氣體可能迅速擴散，增加事故風險。
2023年7月1日，江西乾泰新材料有限公司發(fā)生硅油著火，引發(fā)火情，爆炸起火有機硅裝置報廢，重建困難重重；
2022年6月，新疆某硅料廠起火，停產檢修，影響產量約2500噸；
3、法規(guī)鐵令如山
國家在2020年10月1日開始施行了《特種氣體系統(tǒng)工程技術標準》
?、佟鴺薌B50646-2020強制要求：氣瓶柜、排風口、惰性氣體間等6大區(qū)域必須安裝檢測儀；
?、?、未達標企業(yè)最高面臨停產整頓+百萬罰款。
二、半導體行業(yè)，為何氣體檢測儀如此重要？
1.保障生產安全，預防事故風險
半導體制造涉及多種有毒（如砷化氫、磷化氫）、易燃易爆（如硅烷、氫氣）及腐蝕性氣體，安裝氣體檢測儀實時監(jiān)測泄漏并觸發(fā)報警。
2.確保工藝穩(wěn)定性，提升產品良率
精確監(jiān)控工藝氣體（如蝕刻用的CF?、沉積用的SiH?）的濃度和純度，防止氣體配比偏差。減少因氣體波動導致的晶圓缺陷，提升良率（例如避免薄膜厚度不均）。
實時數據反饋優(yōu)化工藝參數，節(jié)約原材料成本。
3.維持超凈環(huán)境，防止微量污染
檢測超凈間內極低濃度的VOCs（揮發(fā)性有機物）或顆粒物攜帶的氣態(tài)污染物。
保障芯片性能，避免雜質污染導致電路短路或性能下降（如十億分之一級（ppb）的污染即可影響良品）。同時減少腐蝕性氣體對精密設備的損害。
4.符合環(huán)保法規(guī)，實現可持續(xù)發(fā)展
監(jiān)測廢氣處理系統(tǒng)排放的氣體（如NF?、SF?等溫室氣體），確保達標。滿足各國環(huán)保法規(guī)（如歐盟RoHS、中國《大氣污染防治法》）。
三、希思智能科技氣體檢測儀，氣體安全的守護神
★主體和探頭部分均采用模塊化設計。
★2.4英寸工業(yè)級高清彩屏，顯示內容更全面。
★可插拔智能探頭設計，售后維護更方便。
★外置大功率無線LORA模組，傳輸距離更遠。
★紅外遙控器，可以實現在危險場合免開蓋操作。
★低報、高報、故障三組開關量輸出。
★外置高分貝防爆型聲光報警燈。
★智能一鍵消音，方便快捷。
案例分享
某生產光電器件的企業(yè)在引入我們的氣體檢測解決方案后，成功實現了以下目標：
氣體泄漏事故率降低90%：通過實時監(jiān)測和快速響應，企業(yè)大幅減少了氣體泄漏事故的發(fā)生。
生產效率提升15%：減少了因氣體泄漏導致的生產中斷，確保了生產線的穩(wěn)定運行。
員工滿意度提高：員工對工作環(huán)境的安全性更加信任，企業(yè)形象得到提升。
如果您正在為半導體車間的氣體安全問題困擾，歡迎聯系我們，獲取專屬的氣體檢測解決方案，為您的企業(yè)安全保駕護航！
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2025第13屆武漢國際科學儀器與實驗室裝備展覽會
展會城市：武漢市展會時間：2025-03-20