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在國(guó)際貿(mào)易壁壘加劇的局勢(shì)下，卓立漢光作為國(guó)產(chǎn)品牌通過持續(xù)技術(shù)攻堅(jiān)，自主研發(fā)并推出了一款高性能“ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿”，該產(chǎn)品具有隔振性能較好，穩(wěn)定性優(yōu)異等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)制造、半導(dǎo)體、激光測(cè)試、光電儀器研發(fā)與測(cè)試、生物醫(yī)療、精密機(jī)械制造等領(lǐng)域。

ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿

穩(wěn)定 | 可靠 | 隔振

主要特點(diǎn)

ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿具有以下幾個(gè)主要特點(diǎn)：

1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿采用模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于維護(hù)。同時(shí)，平臺(tái)的基礎(chǔ)部分、空氣源、氣動(dòng)隔振元件和支撐調(diào)節(jié)系統(tǒng)等部分均可獨(dú)立更換或升級(jí)，提高了平臺(tái)的可靠性和靈活性。

2. 穩(wěn)定性好：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿由于采用了高壓空氣進(jìn)行支撐和懸浮，具有較高的穩(wěn)定性。即使在惡劣的振動(dòng)環(huán)境下，平臺(tái)也能保持較高的精度和穩(wěn)定性。

3. 隔振效*顯著：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿通過降低平臺(tái)的固有頻率和振幅，有效隔離了來自地面的振動(dòng)干擾。同時(shí)，搭配寬帶阻尼臺(tái)面，進(jìn)一步提高了隔振效果。

4. 適用范圍廣：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿適用于各種需要高精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用場(chǎng)景。例如，在光學(xué)制造領(lǐng)域，平臺(tái)可用于固定和支撐光學(xué)元件；在激光測(cè)試領(lǐng)域，平臺(tái)可用于確保激光系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度；在生物醫(yī)療領(lǐng)域，平臺(tái)可用于支撐顯微鏡等精密儀器。

技術(shù)參數(shù)

1. 固有頻率：固有頻率是衡量其隔振性能的關(guān)鍵參數(shù)。一般來說，固有頻率越低，隔振帶寬越大。ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿的固有頻率范圍在垂直和水平方向上均為1.0~2.0Hz，滿足絕大部分場(chǎng)景的使用。

2. 振幅：振幅反映了平臺(tái)的振動(dòng)幅度，是評(píng)價(jià)隔振效果的重要參數(shù)。通常，振幅越小，平臺(tái)的穩(wěn)定性越好，ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿的振幅一般小于1μm。

3. 調(diào)節(jié)方式：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿采用自動(dòng)定心調(diào)節(jié)方式，確保平臺(tái)在調(diào)節(jié)過程中保持水平狀態(tài)。

4. 隔振方式：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿隔振方式采用空氣薄膜、三線擺桿、混合氣室結(jié)構(gòu)等，適用于多種的應(yīng)用場(chǎng)景。

5. 阻尼方式：ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿的阻尼方式包括多小孔阻尼或微米級(jí)層流阻尼等，阻尼方式的選擇對(duì)平臺(tái)的穩(wěn)定性和隔振效果有重要影響。

性能參數(shù)

1. 減振效率：減振效率是衡量平臺(tái)隔振效果的重要參數(shù)。一般來說，減振效率越高，平臺(tái)的隔振性能越好。ZDH系列獨(dú)立型氣浮隔振支撐腿在5Hz和10Hz的振動(dòng)頻率下，氣浮隔振平臺(tái)的垂直減振效率一般可達(dá)75%~85%@5Hz，90%~95%@10Hz，水平減振效率可達(dá)90%~94%@5Hz，92%~98%@10Hz。

2. 搭配臺(tái)面的平面度：平面度反映了平臺(tái)臺(tái)面的平整度，是評(píng)價(jià)平臺(tái)加工精度的重要指標(biāo)。一般來說，平面度越小，平臺(tái)的加工精度越高，平面度指標(biāo)可達(dá)≤0.05mm/㎡。

3. 搭配臺(tái)面的表面粗糙度：表面粗糙度反映了平臺(tái)臺(tái)面的光滑程度，對(duì)光學(xué)元件的固定和穩(wěn)定性有重要影響。一般來說，表面粗糙度越小，平臺(tái)的性能越好，表面粗糙度可達(dá)<0.8μm。

4. 載荷能力：載荷能力是指平臺(tái)能夠承受的最大負(fù)載。一般來說，載荷能力越大，平臺(tái)的適用范圍越廣。常見的載荷能力指標(biāo)為300Kg/㎡左右。