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　　應(yīng)用背景

　　有機(jī)發(fā)光二極管（organic light-emitting diode，簡稱OLED）又稱為有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體，具有自發(fā)光、廣視角、幾乎無窮高的對比度、較低能耗、*反應(yīng)速度等顯著的優(yōu)點。OLED通常由多層功能材料成膜鍍在基底上所構(gòu)成，這些功能膜層包括陰陽電極，以及兩極間的導(dǎo)電和光發(fā)射有機(jī)材料。目前，銦錫氧化物（簡稱ITO）有機(jī)膜層在OLED中得到較多的應(yīng)用，該類氧化物晶格結(jié)構(gòu)中含有氧原子的缺陷，為自由電子的運(yùn)動和傳輸提供了空間，在兩電極的作用下，自由電子發(fā)生定向運(yùn)動，從而實現(xiàn)了ITO薄膜的導(dǎo)電特性；除能導(dǎo)電外，ITO薄膜還具有較高的透光性能，這是由于氧化物中原子鍵存在間隙，自由電子的密度不高，從而光線可以穿透ITO薄膜的結(jié)果。因此， OLED的光電性能與ITO薄膜的透過率密切相關(guān)，一般要求可見光區(qū)域的透過率高于80%。另一方面，薄膜的厚度勢必會對光在其中的透過率產(chǎn)生影響，當(dāng)厚度大于70nm時，透過率將減小。因而在OLED的生產(chǎn)和研發(fā)過程中，ITO導(dǎo)電膜的透過率以及厚度是需要被準(zhǔn)確檢測和表征的。

　　應(yīng)用測量原理介紹

　　ITO薄膜的測量應(yīng)用包括其在可見光波段的透過率以及薄膜的厚度。測量原理分別介紹如下：

　　透過率：透過是光線在物質(zhì)中不同于反射和吸收的一種行為方式，透過率為穿過物質(zhì)的光強(qiáng)相對于原始光強(qiáng)的百分比。

　　薄膜厚度：薄膜厚度的測量是基于光波的干涉現(xiàn)象，具體可表述為光束照射在薄膜表面，由于入射介質(zhì)、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數(shù)值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面發(fā)生反射，反射光波相互干涉，從而形成干涉光，這些干涉光在不同相位處的強(qiáng)度將隨著薄膜的厚度發(fā)生變化。通過對干涉光的檢測，結(jié)合適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)模型即可計算得到薄膜的厚度。

微型光纖光譜儀優(yōu)勢:

微型光纖光譜儀在ITO薄膜檢測中，具有以下顯著的優(yōu)勢：

1. 體積小巧，適合原位在線監(jiān)測。
2. 易于操作、控制。            
3. 低成本；
4. 快速測量全譜。

海洋光學(xué)推薦應(yīng)用配置

1. ITO薄膜透過率檢測

海洋光學(xué)的微型光纖光譜儀，在配置采樣平臺STAGE-RTL以及光源后即可應(yīng)用于ITO薄膜的透過率檢測。具體配置如下：

2.  ITO薄膜膜厚檢測

海洋光學(xué)NanoCalc膜厚儀檢測系統(tǒng)，配置有采樣平臺、UV-VIS反射探頭，可應(yīng)用于ITO薄膜的膜厚檢測。具體配置如下：

薄膜厚度測量系統(tǒng)配置