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簡介：上海伯東代理美國進口KRI考夫曼離子源KDC100中型規(guī)格柵極離子源,廣泛加裝在薄膜沉積大批量生產(chǎn)設(shè)備中,考夫曼離子源KDC100采用雙陰極燈絲和自對準柵極,標準配置下離子能量范圍100至1200...

簡介：上海伯東代理美國進口KRI考夫曼離子源KDC160是目前考夫曼KDC系列zui大,離子能量zui強的柵極離子源,適用于已知的所有離子源應用,離子源KDC160高輸出設(shè)計,zui大電流超過1000m...

簡介：上海伯東代理美國進口KRI霍爾離子源eH200是霍爾離子源型eH系列中尺寸最小,低成本設(shè)計離子源.霍爾離子源eH200適用于小型真空腔內(nèi),例如研發(fā)分析,薄膜沉積和離子清洗.霍爾離子源eH200操作...

簡介：上海伯東代理美國進口KRI線性離子源使用eH400做為模組,能應用于寬范圍的襯底,離子源長度高達1米,通過嚴格調(diào)整模組間的距離可以實現(xiàn)更佳的均勻性和離子流.由于模組是平行放置,大大簡化了氣體,功率...